シリコン材料・デバイス(SDM)研究会2025

10/31(金)にシリコン材料・デバイス研究会(SDM10月研究会：プロセス科学と新プロセス技術)が東北大学未来情報産業研究館で開催されました。
当研究室からは、今年度に博士課程を修了した齊藤宏河さん、修士1年の西牧良弥さんが発表を行いました。

・齊藤宏河「集積デバイスの統計的インピーダンス計測技術」

・西牧良弥「アレイテスト回路を用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測とその三次元積層化」

齊藤さん、西牧さんお疲れさまでした。

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