シリコン材料・デバイス研究会2024

10/24(木)にシリコン材料・デバイス研究会(SDM10月研究会：プロセス科学と新プロセス技術)が東北大学未来情報産業研究館で開催されました。
当研究室からは、博士3年の齊藤宏河さん、学部4年の西牧良弥さんが発表を行いました。

・齊藤宏河「三次元集積デバイスの統計的容量・電流特性計測に向けたインピーダンス計測プラットフォーム」

・西牧良弥「インピーダンス計測プラットフォームを用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測」

齊藤さん、西牧さん大変お疲れさまでした！！

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